薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor, TFT)は、半導体材料を薄膜としてMOSキャパシタ上に形成し、MOSにかけるバイアスによって薄膜内にキャリア蓄積させることで電導度を変調させ、電界効果トランジスタとして機能させるものです。薄くて透明であるため、有機ELディスレプイの駆動に用いられるほか、チャネル自身をセンサーの母材として活用し、センサーアレイとして活用することもできます。当研究室では室温原子層堆積法を用い、ナノ薄膜でチャネルを形成することで、光センサーや分子吸着センサーの実現を目指しています。